技術情報

スーパーニードル技術

ハーゲン・ポアズイユ流れを応用した原理で、10万倍以上の流量調節範囲を実現しています。

ガス流量調節システム

流量計の交換ができるので、流量レンジの変更や、ガス種の変更に対応しています。当社のワイドレンジのバルブを活かせるラインナップです。 

熱伝導式のガス検出方式

従来の熱伝導式の弱点を克服し、高感度・高速応答を実現しました。