技術情報

スーパーニードル技術

ハーゲン・ポアズイユ流れを応用した原理で、10万倍以上の流量調節範囲を実現しています。

ガス流量調節システム

流量計の交換ができるので、流量レンジの変更や、ガス種の変更に対応しています。当社のワイドレンジのバルブを活かせるラインナップです。 

熱伝導式のガス検出方式

従来の熱伝導式の弱点を克服し、高感度・高速応答を実現しました。

 


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スーパーニードル 外形寸法図
SUPERNEEDLE_GAIKEI_ALL_20160613.zip
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自動流量調節弁 FAVシリーズ 取扱説明書
SUPERNEEDLE_siyou_FAVSK-44VA_revA08.pdf
PDFファイル 1.2 MB
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自動流量調節弁 FAVシリーズ コントロール部の取扱説明書(エムシステム技研社製 MSP5)
nsmsp5.pdf
PDFファイル 210.6 KB