ハーゲン・ポアズイユ流れを応用した原理で、10万倍以上の流量調節範囲を実現しています。
流量計の交換ができるので、流量レンジの変更や、ガス種の変更に対応しています。当社のワイドレンジのバルブを活かせるラインナップです。
従来の熱伝導式の弱点を克服し、高感度・高速応答を実現しました。
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